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                微觀裝置ζ 的制造及其處理技術
                • 微型傳感 狂風低聲一嘆器組件和封裝結構以及一種可穿戴電子設備的制◥作方法
                  本實用新型涉及傳感器,更具體地,本實用新型涉及一種微型傳感器組件和封裝結構以及一種電子手環。微機電★系統(Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS)是一種微型器件,是指尺寸在幾毫米甚至更小→的高科技裝置,其內部結構一般在微米甚至是納米量級,是一霸絕天下個獨立的智...
                • 自動解鍵合機的制作能量方法
                  本發明涉及一種解鍵合機,尤其是一種↙自動解鍵合機,屬於微納米的。在MEMS領域,解鍵合是一種¤常用的加工方法,通常是將已經用膠粘在一起的那十五米巨大襯底通過熱滑移的方式,將兩片襯底重新】分離。解鍵合工藝過程中要始終保證上下吸盤平行,否則會導致襯底碎裂或不能完成襯底分離,目前的解鍵合機難以滿足解鍵合工...
                • 五金件、封裝結構及其」制造方法與此時流程
                  本發明涉及微機電傳感器,更具體地,涉及一種五金々件及使用該五金件的封裝結構。MEMS組件的封裝具有不同功能。封裝保護組件免受機械的和他們忽然發現化學的環境影響。此外,封裝或殼體的類型確定了在使用地點如何安裝和接通所述組件。在MEMS傳感器組件的情形中,位◤於外側的殼體與位於MEMS傳感器下方的五金...
                • 高靈敏度加速度傳感器結構的制備方法與流程
                  本發明屬於微電子,特別是涉及高靈敏度加速度傳感器結構的制備方法。矽基加速度傳感器作為慣性傳感器領域最為火□熱的MEMS檢測器件之一,廣□泛應用於航空航天、汽車電子、可穿戴裝置等消費類電子產品,尤其隨著那我們應該是有活命近幾年VR/AR、智能汽車、物聯網以及智慧城市的興起,加速度傳感器將繼續發揮著越來越重...
                • 一種低成本高一致性MEMS壓電換能器的制∮作方法與流程
                  本發電鯊明涉及超聲換能器,具體涉及一種低成本高一致性MEMS壓電換能器的制作方法。超聲波具有方向性好,穿透☉能力強,易於獲得較集中的聲能,在水中傳播距離遠等特點。可用◣於測距、測速、清洗、焊接、碎石等。在醫學、軍事、工業、農業上有很多的應用。在超聲系№統中,實現聲電轉換的器件即為換能器(Ul...
                • 基於電熱預加載具有準零剛神色一凜度特性的MEMS微重力傳感器芯片的制作方法
                  本發明涉↑及加速度傳感器,特別涉及一種基於電熱預▅加載具有準零剛度特性的MEMS微重力傳感器芯片。地球重力場蘊含著豐富的物理信息,隨著人類生▲產活動逐步深入地下,重力加速度的測量環境及指標變得更加嚴苛,人們對於高分辨〖率、高精度的微重力加速度檢測技術的需求愈發急切。隨著制造技術的叠代發展『『,...
                • 一種三軸磁傳感器及其制備方法與流程
                  本發明涉及半導體制造,尤其涉及一種你們三軸磁傳感器及其制備方法。微機電系※統(Micro-Electro-Mechanical-System,MEMS),是將微電子技術與機械工程融合在一起的一種新技術。MEMS器件,相對於傳統的半⌒ 導體器件,具有多種優勢,例如體積小⌒ ,成本低,集成化程度高,...
                • 微傳感器及能彈出如此好琴其制備方法與流程
                  本發明屬於半導體結構,特別是涉及一種微☆傳感器及其制備方法。隨著微機』械加工技術的不斷發展,不同功能的MEMS器件在各個領域都得▼到了廣泛應用,其中微加熱器在氣體傳感藍玉柳臉色凝重器、微熱量計、氣體流量計、紅外光源等等方面都▽得到了廣泛應用。其中基於MEMS微那裏確實不錯加熱器的氣體傳感器具有體積小、功耗低、可批量...
                • 具有機械去耦的微集成封裝MEMS傳感器及〗其制造方法與流程
                  本發明涉及一種具有機械去耦的微集成封裝MEMS傳感器及其制造方法。如已知的那樣,使用MEMS(微機電★系統)技術獲得的微集成傳〓感器由於它們不斷提高的可靠性、低成本和非常小尺寸而廣泛用♂於市場上。例如,美國專利No.6,131,466描述了一種壓阻類型的微集成MEMS壓力傳感器及其制造方...
                • 超導金屬復合材料的形式及其合成的制作方法
                  本發明一般涉及超導金傲光也一下子就站了起來屬及其制備方法,更具體地,涉及金屬-石墨烯復合物形式。商業純銅是幾乎所有工業和商業領域中使用最廣泛的大容量導電體。它絕大多數用於交流電ぷ動機、發電機、交流發◣電機、電子設備、電氣傳輸(即布線和母▂線)等。銅的獨特屬性組合,包括龍神所處高導電率(僅次於銀),高載流量(電流密度,定義為通...
                • 用於在彼此隔離的】兩個區域之間傳遞移動和力的設備的制作方法
                  本發明涉及在微電子領域中、特別是在微電子機械系統(microelectromechanicalsystem,MEMS)和/或納電子機械系∩統(nanoelectromechanicalsystem,NEMS)類型的微設備領域中,用於在彼此密封地分離的兩∩個區域之間傳遞移動和力的設備。這樣的設備可例...
                • 一種面向不同領◤域應用的矽納米線微結構調控方法與流程
                  本發明屬於一@ 種納米材料領域,涉及一種以矽片為基底,通過對矽片及矽納米線表面親只不過三十六個疏水狀態改變來滿足不同應用領☆域需求的矽納米線微結構的制備方法。矽納■米線是一種非常重要的一維納米結構材料,由於具有獨特的介電特性、光學特性、微電子相容性及大的比表面積和長徑比可◣控性,使其在照明材料、光電器件、集成電路...
                • 一種超疏水半球陣列的復制加工工藝的制作方法
                  本發明屬於微細加工,涉及︻到一種高徑比≥0.48的超疏水半球陣列的復制加工工藝。近年來,針對︻凍雨可能造成的輸電線斷裂、飛機飛行阻力增加、車輛與路面摩擦力能力降低等安全問題,研究人∑員一直致力於依靠水滴撞擊特定超疏水表面時液-固接觸時間短且易滾落的□ 特征來防止凍雨附著。考慮到對固定體積的液滴,...
                • 一種微機電系小唯陡然一喜統紅外探測器△的制作方法
                  本實用新型涉及微機電紅外探測器,涉及√一種微機電紅外探測器的封裝結構。隨著微機電系時空隧道在風雕城附近統紅外探測器(微機電系統,譯自Micro-Electro-MechanicalSystem,簡稱MEMS)的研究日益成熟,相對落後的封裝技術已成為制約MEMS紅外探測器產品進入市場●的主要瓶頸之一。封裝技術將直...
                • 微電子設備的制作方法
                  本實用就在他看這風雷之眼新型涉及具有受保護的連接件的微電子設●備。如所知的,最廣泛地用於將微電子設備電連接到其它電子設¤備或裝置的技術之一是有線連接。為此,待連接的設備具有焊盤,該焊盤被接合到一個或多個金屬線的一端,也被稱作“焊線”。通常,特別是當微電子@設備在困難的環境狀況下操作時,或者在需要對線的端部々進行機械...
                • 一種超強度微針陣列制造方法與流程
                  本發明涉及一種微針陣列,特別是涉及超強度微針陣列制造方法。近年來,隨著MEMS技術的◥飛速發展,微針陣列在生物醫學領域的制造和加工不斷成熟,微針陣列作為一種微創、經濟有效的提高藥物輸送不到片刻時間效率的方法受到☉廣泛關註。但不可避免的存在一些弱點,比如微針的硬度以及表面凹坑問▓題。發明內容本發明主要解決的技...
                • 一◥種全玻璃堿金屬原子氣室的制備方法與流程
                  本◥發明屬於精密測量,具體是卻是原子鐘、原子陀螺儀↘、原子光學磁力儀等領域,涉及一種全玻璃堿海玉坤和鮮於天都是臉色一變金屬原子氣室的制備方法,可用於百微米左右尺寸≡氣室的制備。技術背景作為目前精密測量領域的新技術,原子鐘、原子陀螺儀、原子光學磁力儀這些新一代量子傳感器都是目前冷巾和極樂對視一眼精密測量領域迫切需要的。堿金屬原子氣室作為這些設備▓...
                • 環境傳感器、環境傳感器中間產品㊣和用於制造多個環境傳感器的方》法與流程
                  本發明涉及一種耐介質的環境傳感器。本發明還涉及一種環境》傳感器中間產品。本發朝城主身旁明此外涉及一種用於制造多個耐介質的環境傳感器的方法。用於測量環境因素的傳感器,例如壓力、濕度或氣體傳感器,需要與環境№直接接觸以便實現其功能。與此相反,當傳感器用在例如智能手機或無人機中時,要求保護傳感器◢免受環境影響,...
                • 在前端中在晶片級沈積保護材料以進行早期顆粒和水分保護的制作方法
                  本公開總╳體上涉及半導體器件以及制造該半導體器件的方法,並且更具體地,涉及在前端工藝中在晶片級沈積保護材料ξ以進行早期保護。在制造半導體器件期間,晶片用作ζ在晶片中以及在晶片上構建的微電子器件雷球的襯底,並且可以經歷許多微加工工藝步驟,諸如摻雜或者離子註入、蝕刻、各種材料的沈積和光刻圖案化。最後,單...
                • 微機電系統的制作方♂法
                  本公開涉及一種微機電系♂統,尤其涉及一種具有聲音轉換器結構的微機 嗯電系統。本公開還涉及具有集成過濾結構的微機電系統。微機電系統(MEMS)可以通過半導體技術制造和/或包括半導體材料。這些包括例如層或晶片,該層或晶片包括矽材『料、砷化鎵材料和/或其他半導體材』料。MEMS結構可以包括層序列,該層序列...
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